基本信息
| 标准名称： | 半导体器件扩散炉 能耗分等 |
| 中标分类： | 机械 >> 机械综合 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 机械电子工业部 |
| 发布日期： | 1991-09-13 |
| 实施日期： | 1992-07-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 提出单位： | 机械电子工业部生产司 |
| 归口单位： | 机械电子工业部机械标准化研究所 |
| 起草单位： | 国营七○○厂 |
| 起草人： | 钱祖权、黄淑敏 |
| 出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版日期： | 1992-07-01 |
| 页数： | 4 页 |
适用范围
本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
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所属分类： 机械 机械综合 技术管理